奈米綠色能源暨資訊儲存材料實驗室

功能：

濺鍍多種靶材

配備：

機械幫浦 冷凍幫浦 渦輪幫浦

真空壓力計　電源供應器　射頻產生器 各型控制面板

基本耗材：

Argon　Oxygen　Nitrogen D.I. Water

次要配備：

冰水機　空壓機

備註：

此系統置放於10000class以下之無塵室內

功能：

濺鍍薄膜

配備：

機械幫浦　擴散幫浦　真空壓力計　PID溫度控制器 

  多功能控制面板　基板旋轉器　基板加熱器 基板偏壓裝置