本實驗室之Keithley 4200-SCS系統配有3組SMU，其中一組搭配特殊的訊號放大器可使SMU解析度達至0.1fA。與可加熱之探針平台連結可用來量測元件與薄膜材料的電性參數。除提供基本的I-V特性量測外，並搭配Keithley 590系統可進行元件C-V特性量測。
本實驗室之Keithley 4200-SCS系統配有3組SMU，其中一組搭配特殊的訊號放大器可使SMU解析度達至0.1fA。與可加熱之探針平台連結可用來量測元件與薄膜材料的電性參數。除提供基本的I-V特性量測外，並搭配Keithley 590系統可進行元件C-V特性量測。