探針平台與Keithley4200-SCS、Agilent 34970及Keithley 2400等裝置搭配，進行薄膜試片與元件電性量測。最多可同時進行8支探針量測。其中一座探針平台置於黑箱中可隔絕環境光源之干擾效應。
探針平台
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