四點探針量測系統

本系統為一簡便操作的機台，可迅速量測薄膜材料的片電阻與電阻率。試片平台可加熱至200ºC。

　

　

　

　

　

　

　

　

　

　

　

　

　

四點探針量測系統

　

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