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儀器介紹:
MILA-3000為桌上型紅外線加熱裝置，具有快速升降溫、溫控精準等優點。儀器輕巧不佔空間並能搭配不同氣體輸入，進行不同氣氛退火處理。
儀器優點:
1.能在真空與多種氣氛下退火。
2.具有快速升降溫的能力，升溫速度最快可達50ºC/sec，搭配冰水機冷卻循環系統具有快速降溫的能力。
3.具有精準的溫控裝置，能同時顯示程式溫度與實際溫度。
4.可在機台上加裝CCD藉此觀測試片退火時的變化。
儀器應用:
本裝置除進行試片熱處理外，亦可用來即時偵測試片電性隨溫度的變化情形。如圖一所示，由腔門前的預留孔導入四根金線，並經由試片特殊載台設計如圖二所示，可在升溫的狀況下同時通入電流與電壓，並經由電腦紀錄訊號隨時間之變化。
